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?單靶濺射、雙靶共濺、交替濺射
?一鍵鍍膜，全自動操作可編程自定義多層膜制備參數
?磁控濺射，薄膜顆粒更小滿足高分辨率看樣需求
?7寸觸摸屏，工作參數實時查看
?配備防污染系統有效保護鍍膜組件
?標配旋轉樣品臺薄膜均勻性更好
主要參數 | |||
外形尺寸 | 278(L)×494(H)×467(D) mm | 濺射靶頭 | 平面磁控冷濺射靶頭 |
靶材尺寸 | Φ50mm，厚度支持0.1-2mm | 可用靶材 | Au/Pt/Ag/Cu/Pd等五種靶材 |
工作電流 | 1-50mA可調（步長：1mA） | 鍍膜時間 | 1-9999s可調（步長：1s） |
真空泵 | 旋片泵（可選干泵） | 主真空泵抽速 | 2L/s |
真空室 | 170(L)×150(H)×163.5(D) mm 一體加工金屬腔室 | 極限真空 | ≤0.5Pa |
工作介質 | 氬氣/氮氣/空氣 | 工作真空 | 1-20Pa可調 |
供電 | AC220V/50Hz | 額定功率 | ＜800W |
預濺射 | 全自動預濺射清潔功能，配合預濺射擋板，防止樣品污染、提高鍍膜純度 | ||
樣品臺 | 支持旋轉、升降及傾斜功能 | ||
其它 | 真空度、工作電流可實時曲線顯示 | ||
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電鏡樣品制備
